中國(guó)科大SEM5000X順利通過(guò)驗(yàn)收，繼續(xù)免費(fèi)試運(yùn)行

*本文轉(zhuǎn)載自中國(guó)科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心微信公眾號(hào)

（原標(biāo)題：中心國(guó)產(chǎn)高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡順利通過(guò)驗(yàn)收）

近日，中國(guó)科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心電鏡影像平臺(tái)購(gòu)置的國(guó)儀量子超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X在中心調(diào)試完畢，各項(xiàng)指標(biāo)符合要求，順利通過(guò)專家組聯(lián)合驗(yàn)收。該設(shè)備于11月22日投入試運(yùn)行，試運(yùn)行期間校內(nèi)用戶免費(fèi)。

驗(yàn)收結(jié)束后，國(guó)儀量子代表正式遞交售后服務(wù)承諾書(shū)。

國(guó)儀量子原位高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X為國(guó)儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司自主研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，該設(shè)備具有穩(wěn)定的電子光學(xué)系統(tǒng)，通過(guò)電子光學(xué)鏡筒設(shè)計(jì)優(yōu)化，綜合像差大大降低，實(shí)現(xiàn)了超高分辨率。擁有鏡筒內(nèi)高壓隧道模式，可在低壓下直接對(duì)高低起伏的不導(dǎo)電樣品進(jìn)行高分辨成像。以其超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進(jìn)納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢(shì)，可觀察物體二次電子像、成分襯度像、電子通道襯度像，同時(shí)可進(jìn)行X射線能譜分析、電子背散射衍射分析、原位微納米力學(xué)性能測(cè)試。配備了空氣敏感樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，可對(duì)空氣敏感樣品進(jìn)行形貌、EDS及EBSD表征。